[1]庞叔鸣,唐伟.确定薄膜折射率和厚度的波长法[J].东南大学学报(自然科学版),1990,20(6):31-36.[doi:10.3969/j.issn.1001-0505.1990.06.005]
 Pang Shuming,Tang Wei.Wavdeugth Method of Determining the Refractive Index and Thickness of Thin Film[J].Journal of Southeast University (Natural Science Edition),1990,20(6):31-36.[doi:10.3969/j.issn.1001-0505.1990.06.005]
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确定薄膜折射率和厚度的波长法()
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《东南大学学报(自然科学版)》[ISSN:1001-0505/CN:32-1178/N]

卷:
20
期数:
1990年第6期
页码:
31-36
栏目:
本刊信息
出版日期:
1990-11-20

文章信息/Info

Title:
Wavdeugth Method of Determining the Refractive Index and Thickness of Thin Film
作者:
庞叔鸣唐伟
东南大学电子工程系; 东南大学电子工程系
Author(s):
Pang Shuming Tang Wei
Department of Electronic Engineering
关键词:
薄膜 折射率 厚度 波长
分类号:
+
DOI:
10.3969/j.issn.1001-0505.1990.06.005
摘要:
提出一种只需测量垂直入射和斜入射的两条光谱曲线,就能分别确定薄膜的折射率 n(λ)和厚度的方法.该方法在薄膜的消光系数 k~2n~2时适用,精度优于1%.

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更新日期/Last Update: 2013-04-22