[1]黄金彪,童勤义,唐国洪,等.脉宽调制输出的集成真空度传感器[J].东南大学学报(自然科学版),1992,22(3):89-93.[doi:10.3969/j.issn.1001-0505.1992.03.012]
 Huang Jinbiao,Tong Qinyi,Tang Guohong,et al.An Integrated Vacuum Sensor with Pulse-Width-Modulated Output[J].Journal of Southeast University (Natural Science Edition),1992,22(3):89-93.[doi:10.3969/j.issn.1001-0505.1992.03.012]
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脉宽调制输出的集成真空度传感器()
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《东南大学学报(自然科学版)》[ISSN:1001-0505/CN:32-1178/N]

卷:
22
期数:
1992年第3期
页码:
89-93
栏目:
电子科学与工程
出版日期:
1992-05-20

文章信息/Info

Title:
An Integrated Vacuum Sensor with Pulse-Width-Modulated Output
作者:
黄金彪童勤义唐国洪陈德英
微电子中心; 微电子中心
Author(s):
Huang Jinbiao Tong Qinyi Tang Guohong Chen Deyin
Microelectronics Center
关键词:
传感器 集成电路/集成真空度传感器 数字化输出
分类号:
TN303
DOI:
10.3969/j.issn.1001-0505.1992.03.012
摘要:
本文提出一种优于模拟量输出的数字化传感器.由温度敏感级、加热级和施密特触发器与在加热级和温敏级间的衬底热通路一起构成一个闭环传感器系统.该系统工作在加热和冷却的振荡状态,产生方波输出,其脉宽用作为真空度的量度.该传感器由通用的CMOS技术制备,本文给出了不同真空度下的理论分析与实验结果.

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备注/Memo

备注/Memo:
国家自然科学基金
更新日期/Last Update: 2013-04-20