[1]杨晓敏,顾宁,陆祖宏,等.固体表面聚合物LB膜的原子力显微镜研究[J].东南大学学报(自然科学版),1993,23(6):110-114.[doi:10.3969/j.issn.1001-0505.1993.06.020]
 Yang Xiaomin,Cu Ning,Lu Zuhong,et al.Investigation of Polymer LB Films by Atomic Force Microscopy[J].Journal of Southeast University (Natural Science Edition),1993,23(6):110-114.[doi:10.3969/j.issn.1001-0505.1993.06.020]
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固体表面聚合物LB膜的原子力显微镜研究()
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《东南大学学报(自然科学版)》[ISSN:1001-0505/CN:32-1178/N]

卷:
23
期数:
1993年第6期
页码:
110-114
栏目:
本刊信息
出版日期:
1993-11-20

文章信息/Info

Title:
Investigation of Polymer LB Films by Atomic Force Microscopy
作者:
杨晓敏顾宁陆祖宏韦钰
国家教委分子与生物分子电子学开放实验室; 国家教委分子与生物分子电子学开放实验室
Author(s):
Yang Xiaomin Cu Ning Lu Zuhong Wei Yu
National Laboratory of Molecular and Biomolecular Electronics
关键词:
LB film polyimide poly(methylmethacrylate)(PMMA)/atomic force microscopy(AFM)
分类号:
+
DOI:
10.3969/j.issn.1001-0505.1993.06.020
摘要:
<正> 聚合物 Langmuir-Blodgett(LB)膜一方面因具有分子层次上的有序性.同时又有相当好的热稳定性和机械性能而在微电子等现代科学技术领域中有着越来越广泛的应用.如聚酰亚胺(Pulyimide)可用于超薄绝缘膜和液晶显示中的定向层.而聚甲基丙烯酸甲酯(poly(methylmethacrylate),PMMA)作为电子束刻蚀中的抗蚀层材料.由于其灵敏度低而分辨率高在亚微米以至纳米刻蚀中获得了大量的应用.在这些实际应用中,观察和表征它们的分子级微观.
更新日期/Last Update: 2013-04-20