[1]鲁武,顾宁,陆祖宏,等.扫描电镜电子束纳米刻蚀[J].东南大学学报(自然科学版),1994,24(1):117-119.[doi:10.3969/j.issn.1001-0505.1994.01.022]
 Lu Wu,Gu,Ning,et al.Nanometer Lithography by SEM Electron Beams[J].Journal of Southeast University (Natural Science Edition),1994,24(1):117-119.[doi:10.3969/j.issn.1001-0505.1994.01.022]
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扫描电镜电子束纳米刻蚀()
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《东南大学学报(自然科学版)》[ISSN:1001-0505/CN:32-1178/N]

卷:
24
期数:
1994年第1期
页码:
117-119
栏目:
电路与系统
出版日期:
1994-01-20

文章信息/Info

Title:
Nanometer Lithography by SEM Electron Beams
作者:
鲁武顾宁陆祖宏韦钰沈浩赢张岚
东南大学分子与生物分子电子学实验室; 南京电子器件研究所
Author(s):
Lu Wu;Gu Ning;Lu Zuhong;Wei Yu Shen Haoying;Zhang Lan Shen Haoying;Zhang Lan
National Laboratory of Molecular and Biomolecular Electronics,Southeast Universily,Nanjing 210018
Nanjing Electronic Device Institute, Nanjing 210016
关键词:
electron beams scanning electron microscope lithography
分类号:
TN47
DOI:
10.3969/j.issn.1001-0505.1994.01.022
摘要:
扫描电镜电子束纳米刻蚀鲁武,顾宁,陆祖宏,韦钰(东南大学分子与生物分子电子学实验室,南京210018)沈浩赢,张岚(南京电子器件研究所,南京210016)随着超大规模集成电路集成度的提高,尤其是某些特种器件如高电子迁移率场效应管、高频声表面波器件的出..

相似文献/References:

[1]翁建生,汤铭权,万迪慧.超声振动切削切屑变形的扫描电镜研究[J].东南大学学报(自然科学版),1989,19(1):135.[doi:10.3969/j.issn.1001-0505.1989.01.019]
 Weng Jiansheng Tang Mingquan Wan Dihui(Department of Mechanical Engineering).Research on Chip Deformation in Ultrasonic Vibration Cutting With SEM[J].Journal of Southeast University (Natural Science Edition),1989,19(1):135.[doi:10.3969/j.issn.1001-0505.1989.01.019]

更新日期/Last Update: 2013-04-19