[1]沈克强.集成CMOS流量传感器[J].东南大学学报(自然科学版),1995,25(6):62-67.[doi:10.3969/j.issn.1001-0505.1995.06.012]
 Shen Keqiang.An Integrated CMOS Flow Sensor[J].Journal of Southeast University (Natural Science Edition),1995,25(6):62-67.[doi:10.3969/j.issn.1001-0505.1995.06.012]
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集成CMOS流量传感器()
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《东南大学学报(自然科学版)》[ISSN:1001-0505/CN:32-1178/N]

卷:
25
期数:
1995年第6期
页码:
62-67
栏目:
自动化
出版日期:
1995-11-20

文章信息/Info

Title:
An Integrated CMOS Flow Sensor
作者:
沈克强
东南大学微电子中心
Author(s):
Shen Keqiang
Microelectronics Center,Southeast University, Nanjing 210018
关键词:
传感器 流量 灵敏度
分类号:
TP212.1
DOI:
10.3969/j.issn.1001-0505.1995.06.012
摘要:
本文提出了一种与硅栅CMOS工艺相兼容的集成CMOS流量传感器,该器件由于采用了交叉差分恒流源技术,与硅双极型流量传感器相比,具有相近的灵敏度。

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更新日期/Last Update: 2013-04-19