《东南大学学报(自然科学版)》 过刊查询页面

    关键词中包括 microfabrication 的文章

1 超大规模集成电路微细加工精密工作台系统的动态响应
戴靖东
1987年第1期 [96-105][摘要](1519)[pdf 529KB](1036)