[1]闵光伟,陆祖宏,韦钰.扫描隧道显微镜纳米加工技术的研究[J].东南大学学报(自然科学版),1994,24(5):141-142.[doi:10.3969/j.issn.1001-0505.1994.05.028]
 [J].Journal of Southeast University (Natural Science Edition),1994,24(5):141-142.[doi:10.3969/j.issn.1001-0505.1994.05.028]
点击复制

扫描隧道显微镜纳米加工技术的研究()
分享到:

《东南大学学报(自然科学版)》[ISSN:1001-0505/CN:32-1178/N]

卷:
24
期数:
1994年第5期
页码:
141-142
栏目:
电子科学与工程
出版日期:
1994-09-20

文章信息/Info

作者:
闵光伟陆祖宏韦钰
国家教委分子与生物分子电子学实验室
关键词:
扫描隧道显微镜 加工技术 纳米尺度 阈值电压 蚀点 控制电路 石墨表面 基底结构 接触式 特征结构
分类号:
TN16
DOI:
10.3969/j.issn.1001-0505.1994.05.028
摘要:
扫描隧道显微镜纳米加工技术的研究扫描隧道显微镜STM(ScanningTunnelingMicroscope)不但具有时物质表面原子结构的三维成象能力,而且通过控制STM针尖发射电子、离子及针尖与基底的机械接触等还可以在纳米尺度内改变物质特定区域的徽..
更新日期/Last Update: 2013-04-19